光柵位移傳感器(光柵尺)又稱為線位移傳感器,是一種屬于光電感應的線性器件,傳感器的作用是把各種被測物理量轉換為電量。
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當的措施對莫爾條紋進行細分。位移傳感器所謂細分就是在莫爾條紋信號變化一個周期內,發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如一個周期內發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n倍,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數脈沖頻率提高了n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一、直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90°的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90°的方波信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90°的方波信號,實現四倍頻細分。其二、電路細分。
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